6月30日，中国科学院宁波材料技术与工程研究所承担的2项中国科学院科研装备研制项目——“纳米磁-电-热多参量耦合原位表征系统”和“高离化率磁控溅射复合受控阴极电弧镀膜装置”顺利通过了中国科学院条件保障与财务局组织的验收。验收专家组由来自苏州纳米所、物理研究所、合肥强磁场科学中心、中国计量大学、苏州大学、金属研究所、兰州化物所、上海硅酸盐所等有关单位的专家组成。中国科学院条件保障与财务局副局长曹凝、科技条件处副处长姜言彬出席了验收会。

上午，2组测试专家组分别听取了各项目组测试说明，审议和确认了测试大纲，根据实施方案规定的要求从研制装备的运行、使用情况、技术测试实验结果等角度对各项技术指标逐一进行现场测试，形成技术测试报告。

下午，验收专家组听取了2个项目组工作报告、财务报告、使用报告和测试专家组的测试报告，现场查看了装备的运行情况，查阅了文件档案及相关财务账目。验收专家组认为，项目承担单位完成了实施方案规定的研制任务，达到了研制目标，同意2个项目通过验收。

“纳米磁-电-热多参量耦合原位表征系统”项目研制了一套具有核心专利技术的新型纳米磁-电-热多参量耦合原位表征系统。该装备由扫描探针显微镜工作平台、磁-电-热多参量耦合信号获取探针、多参量信号分离系统、多物理场外场施加模块、多参量联用控制软件等组成。通过项目的研制获得了磁学、电学和热学同步实时原位探测功能模块，可同时原位探测磁学、电学和热学参数，实现了磁-电、磁-热、电-热同步实时原位探测功能的多参量耦合联用功能。课题组使用该系统开展了BiFeO₃-CoFe2O₄自组装纳米复合薄膜材料中电场原位调控磁性的研究，为新型低功耗高密度存储器件的研究奠定了实验基础。

“高离化率磁控溅射(HIPIMS)复合受控阴极电弧镀膜装置”项目通过对高功率磁控管模块、受控阴极电弧源模块、HIPIMS电源、关键子系统、PLC控制等的设计优化和适配加工，研制出了一套具有核心专利技术的高功率脉冲磁控溅射复合受控阴极电弧镀膜装置，该装备具有离化率高、放电稳定、绕射性好、大面积均匀、运行可靠的特点。利用该装置，不仅实现了以TiAlSiN与DLC为主的两类目标硬质涂层材料高质量制备；且光谱与探针原位诊断表明，HIPIMS技术实现了金属Ti的离化率达80%，等离子体密度达10¹⁹/m³。另外，该装置具有良好功能拓展性，能实现CrB₂超硬涂层和高纯MAX相防护涂层的设计与制备。

宁波材料所副所长瞿荣辉，科技发展部部长宋书林、副部长童昕，财务资产部副部长黄薏静等一同参加了验收会。

验收会现场

“纳米磁-电-热多参量耦合原位表征系统”项目测试现场

“高离化率磁控溅射(HIPIMS)复合受控阴极电弧镀膜装置”项目测试现场